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去磷硅清洗设备

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所在地: 江苏 南通市
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最后更新: 2019-11-12 12:46
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公司基本资料信息
详细说明
 去磷硅清洗设备

去磷硅清洗设备主要功能是对去磷硅的清洗、干燥在同一台设备上完成。设备型号:NXXD-0806;整机尺寸(参考):详见图纸;被清洗硅片尺寸:125*125*0.20mm /  156*156*0.20mm;产量 :1600片/小时(156×156×0.20mm);每批处理量:200片(156×156×0.20mm);节拍    :450秒;200片盒尺寸:600×395×205mm锯齿型片盒;处理重量:40kg;一般用在工艺后,硅片保持湿润,配上超声能更好的去处颗粒。HF腐蚀后一般都配置OF而不配置QDR,主要是HF处理后硅片为疏水性,OF能更好的去处污染。进水阀门采用bypass形式;
设备制造:江苏英思特半导体科技有限公司


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